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专利详情
摘要
用于高效薄膜太阳电池的氧化锌透明导电薄膜的制备方法,本发明涉及透明导电氧化物薄膜技术领域;以低掺杂比例三氧化二铝和氟化镁共掺杂氧化锌为靶材;在去离子水中混入电子清洗液,利用超声清洗机对玻璃衬底清洗10min,然后再放入去离子水中超声清洗10min,最后用N2吹干;将清洗干净的玻璃衬底放入真空腔室,然后对腔室进行抽真空处理,待真空度小于5×10‑5Pa,向腔室通入氩气,调节腔内溅射气压,达到预设值;开启溅射电源进行预溅射处理5min,然后开始在玻璃衬底沉积ZnO薄膜。提高薄膜在紫外和近红外区域的透过率,该ZnO薄膜具有低电阻率、高宽光谱透过率、性能稳定的特点。
许可使用费
入门费0万元,提成费按当年度合同产品净销售额的50%提取。
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陈建新18931316698
专利转让流程
顾问确认选择专利的交易价格和法定状态。
对确定的专利支付相应款项并签订专利代购协议书。
协助卖家办理专利转让公证,专利公证一般在3-5个工作日完成。
顾问将专利相关资料交付买家,并将双方签字的相关资料递送国知局。
顾问持续跟进专利的过户,直至专利过户完成,国知局下发文件。
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